一、PVD涂層(ceng)制(zhi)備過程中(zhong)的常見外(wai)表缺(que)點(dian)
1、大液滴
是PVD涂層制備過程中，高能離子轟擊靶(ba)材獲得(de)高堆積(ji)功率工況下的(de)(de)典型缺(que)(que)點(dian)(dian)，一般顆粒的(de)(de)三維尺度比較(jiao)均勻，大于(yu)1.5um，是嚴重(zhong)(zhong)影(ying)響刀具加(jia)工精度的(de)(de)涂層缺(que)(que)點(dian)(dian)，對刀具的(de)(de)重(zhong)(zhong)復定位精度和加(jia)工件的(de)(de)外(wai)表質量有影(ying)響。
2、結瘤(liu)與片狀(zhuang)凸出
是由于(yu)真(zhen)空(kong)室內(nei)的顆粒(li)或者基(ji)體(ti)外表(biao)(biao)的顆粒(li)在涂層堆積曾經附著在基(ji)體(ti)外表(biao)(biao)，跟著堆積存在于(yu)涂層當中，往(wang)(wang)往(wang)(wang)是較為(wei)松軟(ruan)的涂層缺點(dian)，缺點(dian)的面積尺度(du)往(wang)(wang)往(wang)(wang)大大的大于(yu)高度(du)，在運用中易于(yu)剝落。
3、空(kong)泛或(huo)盤形坑
PVD涂(tu)層(ceng)中存(cun)在(zai)與涂(tu)層(ceng)的結合(he)不牢的外來顆粒(li)在(zai)高應力效果下進行自(zi)發掉落，構成空泛缺(que)點(dian)(dian)；基(ji)體之(zhi)間存(cun)在(zai)污染，在(zai)真空室冷卻時由于熱應力效果而掉落構成盤(pan)形坑或(huo)露(lu)出(chu)基(ji)體缺(que)點(dian)(dian)。
4、針孔或氣泡
當基(ji)體(ti)外表存(cun)在(zai)(zai)狹窄的凹坑(keng)時，涂(tu)層堆積過(guo)程中(zhong)在(zai)(zai)凹坑(keng)邊優先生長，逐漸(jian)構(gou)成涂(tu)層針(zhen)孔缺(que)點，而進行外表拋光處理(li)時，這種缺(que)點外表一層薄薄的涂(tu)層被(bei)磨掉，露出出來。氣(qi)泡是100-400nm微顆粒，真空(kong)室內(nei)構(gou)成片狀(zhuang)，當他們穿過(guo)等離子體(ti)時能夠得(de)到(dao)電荷(he)，這種離子能夠到(dao)達基(ji)體(ti)外表，并(bing)且在(zai)(zai)電荷(he)的效果下(xia)被(bei)固定在(zai)(zai)基(ji)體(ti)外表，堆積過(guo)程中(zhong)構(gou)成氣(qi)泡式缺(que)點。
二、處理(li)PVD涂層(ceng)外表缺點(dian)的(de)常用辦法(fa)
1、真空拋光處
真空腔體(ti)以及內部(bu)部(bu)件的(de)氣(qi)體(ti)放出(chu)量(liang)，和材料的(de)外(wai)表(biao)(biao)(biao)積直接相(xiang)關。固(gu)體(ti)外(wai)表(biao)(biao)(biao)的(de)原子密(mi)度(du)大(da)約為2×1019 m-2，考慮到外(wai)表(biao)(biao)(biao)的(de)高低不平，實(shi)踐的(de)固(gu)體(ti)外(wai)表(biao)(biao)(biao)會吸(xi)附(fu)(fu)大(da)量(liang)的(de)氣(qi)體(ti)分子。通過拋(pao)光(guang)使外(wai)表(biao)(biao)(biao)更加平坦，能夠(gou)大(da)大(da)減小外(wai)表(biao)(biao)(biao)積，從(cong)而削(xue)減外(wai)表(biao)(biao)(biao)吸(xi)附(fu)(fu)的(de)氣(qi)體(ti)分子。拋(pao)光(guang)主要有玻(bo)璃丸噴砂和電解拋(pao)光(guang)兩種(zhong)手法。
2、超聲波清(qing)洗
超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)(sheng)波清(qing)洗(xi)(xi)是(shi)使用(yong)超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)(sheng)波在(zai)液(ye)(ye)(ye)(ye)體(ti)中(zhong)的(de)空化(hua)(hua)效果、加速(su)度效果及直(zhi)進(jin)流效果對(dui)液(ye)(ye)(ye)(ye)體(ti)和污物直(zhi)接、直(zhi)接的(de)效果，使污物層被渙散、乳化(hua)(hua)、剝(bo)(bo)離而(er)到達清(qing)洗(xi)(xi)意圖。向液(ye)(ye)(ye)(ye)體(ti)導(dao)入超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)(sheng)波后，液(ye)(ye)(ye)(ye)體(ti)的(de)激烈運動(dong)使局部(bu)發生壓強(qiang)差(cha)。壓強(qiang)低的(de)部(bu)分會(hui)發生大(da)量的(de)氣泡，當壓強(qiang)從頭升高時，這些(xie)氣泡會(hui)在(zai)瞬間決裂(lie)，從而(er)在(zai)液(ye)(ye)(ye)(ye)體(ti)中(zhong)發生沖擊波。沖擊波會(hui)將(jiang)固體(ti)外表(biao)的(de)油污剝(bo)(bo)離。超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)(sheng)波清(qing)洗(xi)(xi)用(yong)的(de)液(ye)(ye)(ye)(ye)體(ti)一般采用(yong)酒精或(huo)丙酮(tong)。通過超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)(sheng)波清(qing)洗(xi)(xi)的(de)部(bu)件(jian)(jian)放到大(da)氣中(zhong)后，酒精或(huo)丙酮(tong)會(hui)馬上蒸騰，不(bu)會(hui)在(zai)部(bu)件(jian)(jian)外表(biao)留下水垢。
